Restauration des profils en profondeur de l'analyse SIMS par l'algorithme de Landweber

Abstract

La spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS) est une importante technique pour la réalisation des profiles en profondeur. Cependant les développements SIMS ne sont pas aussi prononcés et rapides que ceux des techniques de fabrication de la microél ectronique. De plus, l’analyse SIMS, de par son principe, implique un élargissement et décalage des profils mesurés vers la surface. C e t ravail était consacré à l’amélioration de la résolution en profondeur de l ’ analyse SIMS au moyen d’une technique de déconvolution. Pour effectuer la déconvolution, nous avons choisi d’utiliser l’algorithme de Landweber projeté ( Projected Landweber algorithm). La déconvolution des profils gaussiens et en créneaux nous a montré que cet algorithme est semi - c onvergent. Cet te propriété ne représente pas un vrai problème dans le cas des profils créneaux puisque la convergence est très lente, et le minimum de l’erreur se trouve généralement dans une région plate. L es profils déconvolués nous a montré une amélioration très satisfaisante de la résolution en profondeur , le décalage et l'élargissement des profils sont corrigés