Résumé:
La spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS) est une importante technique pour la
réalisation des profiles en profondeur. Cependant les développements SIMS ne sont pas aussi
prononcés et rapides que ceux des techniques de fabrication de la microél
ectronique.
De plus,
l’analyse
SIMS, de par son principe, implique un élargissement et décalage
des profils mesurés
vers la surface.
C
e t
ravail
était consacré à l’amélioration de la résolution en profondeur
de
l
’
analyse
SIMS
au
moyen d’une technique de
déconvolution.
Pour effectuer la déconvolution, nous avons choisi
d’utiliser l’algorithme
de Landweber
projeté
(
Projected Landweber algorithm).
La déconvolution
des profils gaussiens et
en créneaux nous a montré que cet
algorithme est semi
-
c
onvergent. Cet
te
propriété
ne représente pas un vrai problème dans le cas des profils créneaux puisque la
convergence est très lente, et le minimum de l’erreur se trouve généralement dans une région
plate.
L
es profils déconvolués nous
a montré
une
amélioration
très satisfaisante
de
la résolution
en profondeur
,
le décalage et l'élargissement des profils sont corrigés
